用40%NH4F对Si（100）表面进行化学织构化,然后用十八烷基三氯硅烷（OTS）进行分子自组装,在织构化表面谷底区域形成液体凝聚（LC）相分子薄膜。织构化表面的典型山丘直径约30|nm,高约7|nm;典型的LC相OTS单层膜原子力显微镜（AFM）厚度约2.3|nm。随着反应时间的延长,OTS薄膜的LC相面积覆盖率逐渐增加,30m|in后达到70%左右的平衡值。OTS组装8|min后的表面静态接触角即达108°左右,且表面接触角不再随反应时间的延长或LC相面积覆盖率的增加而明显变化。组装的OTS薄膜能显著改善织构化硅表面的摩擦学性能。
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